▲ 중국 산시성 시안에 있는 삼성전자의 낸드플래시 제조 공장. <연합뉴스>
5일 로이터는 3명의 취재원 발언을 인용해 “삼성전자와 SK하이닉스가 미국의 대중국 수출 통제에 대비해 중국업체 중웨이(AMEC)의 장비 사용을 검토하고 있다”고 보도했다.
삼성전자와 SK하이닉스가 2년 전부터 중국 공장에서 사용할 수 있도록 AMEC의 식각 장비를 시험하고 있었다는 것이다.
당시 미국 정부가 중국으로 반도체 장비 반입을 계속 허용할지 불확실했다는 배경이 제시됐다.
식각은 반도체 제조 과정에서 웨이퍼 표면에 불필요한 부분을 선택적으로 제거하는 공정을 말한다.
로이터는 “현재까지 대규모 도입으로 이어진 것은 아니며 평가 단계에 머물러 있다”고 전했다.
삼성전자는 2014년부터 중국 산시성 시안에 낸드플래시 공장을 운영하고 있다. SK하이닉스는 장쑤성 우시와 랴오닝성 다롄에 각각 낸드플래시와 D램 공장을 두고 있다.
D램은 기기 전원이 꺼지면 데이터가 날아가지만 속도가 빨라 중앙처리장치(CPU)의 임시 작업을 돕는다. 낸드플래시는 전원이 꺼져도 데이터가 유지되어 파일과 프로그램 등을 장기 보관하는 장치다.
로이터는 이번 삼성전자의 장비 시험을 놓고 미국의 대중국 반도체 규제가 오히려 중국 장비업체에 기회로 작용했다고 평가했다.
중국 반도체 장비사가 삼성전자와 SK하이닉스 등 글로벌 메모리 반도체 기업의 중국 공장에 진입할 발판으로 작용했다는 평가로 풀이된다.
앞서 미국 상무부는 2023년 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 공장을 검증된 최종사용자(VEU)로 지정해 미국 정부의 허가 없이 특정 장비를 수입할 수 있도록 조치했다.
그러나 2025년 VEU 지위를 철회한 뒤 2026년 한 해 동안만 중국 공장에 반도체 제조 장비를 반입할 수 있는 연간 허가를 부여했다.
다만 삼성전자는 로이터에 보낸 성명에서 “AMEC 장비를 시험한 적이 없으며 고려하지도 않았다”고 전했다. SK하이닉스는 로이터의 질문에 답변하지 않았다. 이근호 기자