
▲ 대만 TSMC가 미국 의회의 반도체 장비 규제 강화에 선제적으로 대비해 2나노 파운드리에서 중국산 장비 사용을 배제하는 방안을 추진하고 있다. TSMC 반도체 생산공장 내부 참고용 사진.
미국 의회에서 중국산 반도체 장비와 관련한 규제를 강화할 채비를 갖추고 있기 때문이다.
닛케이아시아는 25일 관계자의 말을 인용해 “TSMC가 잠재적으로 생산에 차질을 일으킬 수 있는 미국 규제를 피하려 중국 장비 사용을 중단하고 있다”고 보도했다.
TSMC는 대만 신주와 가오슝, 미국 애리조나 등에서 순차적으로 가동을 준비하는 2나노 파운드리 생산라인에 중국 업체의 반도체 장비를 완전히 제외하는 방안을 추진하고 있다.
미국 정부의 지원을 받는 반도체 기업이 중국산 장비 사용을 금지하도록 할 수 있는 규제가 미국 의회를 중심으로 논의되고 있기 때문이다.
마크 켈리 상원의원을 비롯한 미국 의회 의원들은 반도체 장비 관련 법안을 준비중인 것으로 파악된다. 중국 등 일부 국가의 장비 구매를 규제하는 법안이다.
닛케이아시아에 따르면 TSMC는 현재 첨단 미세공정 반도체 생산라인에서 중국산 또 중국 이탕(E-Town)반도체기술이 소유한 미국 기업의 장비를 활용하고 있다.
이외에 TSMC 대만과 미국 공장에서 활용되는 반도체 소재 및 화학제품 관련 전수조사도 실시하고 있는 것으로 전해졌다.
미국 의회와 정부의 규제 방향성을 예측하기 어려운 만큼 최대한 엄격한 기준을 적용해 중국 공급망에 의존을 낮추려는 것으로 분석된다.
닛케이아시아는 TSMC가 기존 3나노 반도체 생산라인에서도 중국산 장비를 제외하는 방안을 검토하고 있었다는 관계자의 말을 전했다.
그러나 반도체 생산라인에서 일부 장비를 교체하면 수율이나 품질에 영향을 줄 수 있다는 점을 고려해 아직 상용화되지 않은 2나노부터 변화를 추진하는 것으로 파악된다.
닛케이아시아는 “중국의 주요 반도체 제조사들은 자국산 장비 사용을 늘리고 있다”며 “중국 장비 업체들은 기술 자급체제 구축에 큰 진전을 이뤄내고 있다”고 덧붙였다.
미국 의회에서 추진하는 중국산 반도체 장비 규제는 결국 현지 기업들의 이러한 의지를 꺾기 위한 목적으로 분석된다. 김용원 기자