테스가 원자층 증착법을 활용한 박막증착장치와 관련해 국내 특허권을 취득했다.<br /> <br /> 테스는 3일 반도체 전공정 가운데 증착공정에 사용되는 박막증착장치와 관련된 특허권을 취득했다고 공시를 통해 밝혔다.<br /> &nbsp; <figure class="image" style="float:right;margin-right:0px; margin-left:15px; margin-top:30px; "><img alt="테스, 반도체 생산에 사용되는 박막증착장치 관련해 국내 특허 취득" height="200" class='lazyload' data-src="https://www.businesspost.co.kr/news/photo/202001/20200103174701_10249.jpg" width="300" /> <figcaption><table width=320><tr><td align='left' style='margin:0; padding:0px 0px; color:#306f7f; font-size:12px; font-family:verdana; letter-spacing:-0.1em; line-height:160%; table-layout: fixed; width:180px;'>▲ 주숭일 테스 대표이사 사장.</td></tr></table></figcaption> </figure> <br /> 테스에 따르면 새로운 특허 기술은 기판에 박막을 증착하는 데 생산성을 높일 수 있고 다수의 기판에 박막을 증착할 때는 각 기판에 증착되는 막 두께의 균일도를 향상시킬 수 있다.<br /> <br /> 테스는 이번에 취득한 특허기술을 반도체 생산장비에 적용해 제품 경쟁력을 강화할 것이라고 설명했다.<br /> <br /> 테스는 반도체 생산공정 가운데 전공정에 필요한 생산장비 제조를 주요사업으로 두고 있는 회사다.&nbsp;[비즈니스포스트 은주성 기자]