테스가 원자층 증착법을 활용한 박막증착장치와 관련해 국내 특허권을 취득했다.

테스는 3일 반도체 전공정 가운데 증착공정에 사용되는 박막증착장치와 관련된 특허권을 취득했다고 공시를 통해 밝혔다.
 

테스에 따르면 새로운 특허 기술은 기판에 박막을 증착하는 데 생산성을 높일 수 있고 다수의 기판에 박막을 증착할 때는 각 기판에 증착되는 막 두께의 균일도를 향상시킬 수 있다.

테스는 이번에 취득한 특허기술을 반도체 생산장비에 적용해 제품 경쟁력을 강화할 것이라고 설명했다.

테스는 반도체 생산공정 가운데 전공정에 필요한 생산장비 제조를 주요사업으로 두고 있는 회사다. [비즈니스포스트 은주성 기자]