이재용 삼성전자 부회장과 김기남 삼성전자 DS부문 대표이사 부회장이 네덜란드 반도체장비기업 ASML과 협력방안을 논의했다.

삼성전자는 이재용 부회장과 김기남 부회장이 13일 네덜란드 에인트호번에 있는 ASML 본사를 찾아 피터 버닝크 최고경영자(CEO), 마틴 반 덴 브링크 최고기술책임자(CTO)와 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력방안을 논의했다고 14일 밝혔다.

이 부회장과 버닝크 CEO는 7나노급 이하 최첨단 반도체 생산에 필수인 극자외선(EUV) 장비 공급계획 및 운영기술 고도화방안, 인공지능 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력, 코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 미래 반도체 기술 전략 등을 놓고 의견을 나눴다고 삼성전자는 전했다.

이 부회장은 이날 ASML의 반도체장비 생산공장을 찾아 극자외선 장비 생산현황을 직접 살펴보기도 했다.

극자외선 장비는 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 노광 공정에 사용된다. 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 인공지능, 5G통신, 자율주행 등에 필요한 고성능 반도체를 만드는 데 꼭 필요한 장비로 꼽힌다.

ASML은 현재 세계에서 유일하게 극자외선 장비를 공급하는 기업이다.

이 부회장은 2016년 11월에도 삼성전자를 방문한 버닝크 CEO 등 ASML 경영진을 만나 차세대 반도체 미세공정에 관한 협력방안을 논의했다. 

2019년 2월에는 프랑스 파리에서 만나 반도체산업에 관한 의견을 나눴다.

삼성전자 관계자는 “최근 시스템반도체에 이어 최첨단 메모리반도체 분야까지 극자외선 활용 범위를 확대하고 있다”며 “특히 파운드리(반도체 위탁생산)사업이 빠르게 성장하면서 두 회사 사이 협력관계도 확대되고 있다”고 말했다.

이재용 부회장은 8일 유럽으로 출국해 14일 오전 귀국했다. 기업인 신속통로(입국절차 간소화) 제도를 통해 다녀와 코로나19에 따른 자가격리 의무는 면제되는 것으로 알려졌다. [비즈니스포스트 임한솔 기자]