SK그룹의 계열사인 SK머티리얼즈가 일본에서 수출규제를 하고 있는 고순도 불화수소(에칭가스) 샘플 생산에 착수했다. 

SK머티리얼스는 25일 생산시설이 갖춰지는대로 이르면 2019년 말 고순도 불화수소 샘플을 생산한다고 밝혔다. 
 

SK머티리얼즈 관계자는 “삼불화질소 생산은 우리 회사의 핵심 기술영역이며 공정 자체가 비슷하고 특수가스를 다룰 수 있는 노하우가 있어 고순도불산화수소 생산이 어려운 것은 아니다”며 “현재 샘플 생산 준비 중으로 올해 말이나 늦어도 내년 초까지 샘플을 생산할 것”이라고 말했다.

SK머티리얼즈는 2001년부터 삼불화질소를 생산해왔는데 이 기술력을 기반으로 액화가스형 고순도 불화수소 생산에 도전한다.

액화가스 형태의 고순도 불화수소는 반도체 생산 과정에서 불필요한 부분을 깍아내는 공정과 불순물을 제거하는 데 쓰인다.  

SK머티리얼즈가 생산하는 고순도 불화수소가 일본산 불화수소의 대체제가 될 수 있는지 여부는 샘플 생산 후 검증기간을 거쳐야 한다.

SK머티리얼즈 관계자는 “수출규제와 관련 없이 이전부터 고순도 불화수소의 기술 개발이나 양산 준비는 이뤄졌다”며 “구체적 양산시점이나 설비투자는 아직 검토 중”이라고 덧붙였다. [비즈니스포스트 석현혜 기자]