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SK하이닉스 12조 규모 EUV 장비 구매 계약, "차세대 공정 양산 목적"

나병현 기자 naforce@businesspost.co.kr 2026-03-24 14:33:29
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[비즈니스포스트] SK하이닉스가 인공지능(AI) 반도체 시장의 리더십을 공고히 하기 위해 극자외선(EUV) 노광장비 확보에 12조 원을 투자한다.

SK하이닉스는 24일 ASML코리아와 약 11조9천억 원 규모의 EUV 노광장비 구매 계약을 체결했다고 공시했다.
 
SK하이닉스 12조 규모 EUV 장비 구매 계약, "차세대 공정 양산 목적"
▲ SK하이닉스가 ASML로부터 약 11조9천억 원 규모의 EUV 노광장비를 구입한다. < SK하이닉스 >

2년에 걸쳐 순차 도입되며, 최종 인도 시점은 2027년 12월31일로 예상된다.

대금은 장비 인도 시점에 맞춰 분할 지급한다.

회사 측은 "차세대 공정 양산 대응을 위한 장비 확보 목적"이라고 설명했다.

최근 반도체 선단 공정 경쟁이 치열해지면서 EUV 장비 확보가 곧 생산능력으로 직결되는 상황이다. SK하이닉스는 이번 계약을 통해 향후 2년 동안 안정적인 장비 수급 라인을 확보하게 됐다.

SK하이닉스는 10나노급 6세대(1c) D램과 차세대 고대역폭메모리(HBM) 공정에 EUV 장비를 활용할 것으로 예상된다.

이번에 도입하는 EUV 장비는 청주 M15X 공장과 용인클러스터 1기 공장에 들어갈 것으로 알려졌다.

SK하이닉스는 최근 청주 M15X 공장의 두 번째 클린룸을 개방하고 핵심 장비 반입을 시작했다. 당초 계획보다 장비 반입 시점을 약 2개월 앞당긴 것으로, 폭증하는 글로벌 HBM 수요에 선제적으로 대응하기 위한 조치다.

청주 M15X는 SK하이닉스의 HBM 전용 생산 거점으로 운영되며, 인근 후공정 시설인 P&T7과 연계해 '웨이퍼 생산부터 패키징'까지 이어지는 최적화된 공급망을 구축한다. 나병현 기자

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