[비즈니스포스트] SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입했다.

SK하이닉스는 10일 보도자료를 통해 “지난해 12월부터 가상 계측 인공지능솔루션 ‘판옵테스VM’을 양산 팹(Fab)에 도입해 사용하고 있다”고 밝혔다.
 

판옵테스VM은 제조공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 인공지능솔루션이다. SK하이닉스가 지난해 11월 투자한 산업 인공지능 전문 스타트업 ‘가우스랩스’가 출시한 소프트웨어 제품이다.

판옵테스란 이름은 그리스 신화에 나오는 눈이 백 개 달려 모든 것을 보는 거인 ‘판옵테스’에서 따왔다. 제조 공정 가운데 벌어지는 모든 일을 모니터링한다는 뜻이다.

판옵테스VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적 과정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다.

하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에서 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측은 매우 어렵다.

SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스VM을 도입했다. 그 뒤 분석 결과를 보면 공정 산포 평균이 21.5% 개선되는 효과를 얻었다. 동시에 수율도 향상됐다.

산포는 해당 공정에서 생산된 제품들의 품질 변동 크기다. 산포가 줄어들수록 불량 가능성이 줄어들기에 산포가 적정 수준을 넘어서지 않도록 관리해야 한다.

김영한 가우스랩스 대표는 “가우스랩스는 최고의 인공지능 기술을 통해 제조 현장에 의미 있는 효과와 큰 가치를 제공할 수 있는 난제들을 공략해 해결하고 있다”며 “판옵테스VM을 필두로 제조업에 혁신을 이끌어 나갈 제품들을 지속 개발하겠다”고 말했다.

김영식 SK하이닉스 제조/기술 부사장은 “SK하이닉스는 가우스랩스와 협력해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발과 생산 전반에 인공지능 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이며 이번 판옵테스VM 도입은 시작일 뿐이다”고 말했다. 류근영 기자