네덜란드 반도체장비기업 ASML이 극자외선(EUV) 노광장비 판매를 확대했다.

18일 ASML 사업보고서에 따르면 지난해 극자외선 노광장비 판매량은 31대, 매출은 44억6380만 유로(약 6조 원)로 집계됐다. 

장비 1대당 1억4400만 유로(약 1940억 원)에 팔린 것으로 추산된다.

ASML이 2019년 극자외선 노광장비 26대를 판매해 27억9970만 유로를 벌어들였다는 점을 고려하면 1년 사이 장비 가격이 30% 이상 높아진 셈이다.

ASML은 사업보고서에서 “생산성이 높은 ‘NXE:3400C’ 모델로 전환한 결과 극자외선 노광장비의 평균 판매가격이 상승했다”고 말했다.

ASML 최신 극자외선 노광장비 NXE:3400C은 시간당 웨이퍼 산출량이 136장 수준이다. 이전 세대 NXE:3400B의 107장에 비교해 대폭 개선됐다.

노광장비는 반도체를 만들기 위해 웨이퍼에 빛으로 회로를 그리는 노광공정에서 사용된다.

극자외선 노광장비는 불화아르곤(ArF)레이저 등 기존 광원보다 파장이 짧은 극자외선을 활용해 더욱 미세한 반도체 회로를 새길 수 있다. 5나노급 이하 반도체를 만드는 데 필수로 여겨진다.

ASML은 세계에서 유일하게 극자외선 노광장비를 생산해 삼성전자와 대만 TSMC, SK하이닉스, 인텔 등에 공급하고 있다. [비즈니스포스트 임한솔 기자]