[비즈니스포스트] SK하이닉스가 2050 넷제로 달성을 위해 고효율·저전력 ‘스크러버’를 개발했다.

SK하이닉스는 국내 사업장의 식각 공정에 쓰이는 스크러버의 온실가스 처리 효율을 99%까지 끌어올릴 수 있는 신기술을 개발했다고 9일 밝혔다.

스크러버는 반도체 생산 과정에서 발생하는 부산물을 제거하는 장비다. 다양한 화학 물질이 쓰이는 반도체 공정에서 유해 물질을 정제하고 안전하게 처리할 수 있다.

처리 효율 99%'라는 수치는 온실가스 배출량이 계측기가 측정할 수 있는 최소량 이하로 검출됐다는 의미로, 사실상 배출이 거의 없다는 뜻이다.

이번 성과는 기존 스크러버의 효율을 개선하고 신규 베이(여러 개의 챔버가 모여 있는 하나의 공정 단위)형 스크러버를 개발하는 두 가지 방법으로 이뤄졌다.

식각 공정에서 기존의 챔버 단위로 설치된 스크러버는 필요 장비 대수가 많아 전력 사용량이 크고, 온실가스 처리 과정에서 대기오염물질로 지정된 질소산화물(NOx)이 발생하는 문제가 있었다.

새로 개발한 베이형 스크러버는 챔버보다 큰 베이 단위에서 온실가스를 처리해 필요 장비 대수를 줄여 전력 사용량은 물론, 관리·운영비까지 감소하는 효과가 있다.

또 촉매를 사용해 온실가스 분해 온도를 낮춰 추가적으로 전력을 절감하고, 상대적으로 낮은 온도로 작동해 질소산화물의 생성도 억제할 수 있다는 장점이 있다.

베이형 스크러버는 SK하이닉스에서 처음으로 시도하는 장비다.

프로젝트를 담당한 이성수 SK하이닉스 TL은 “새로운 장비라 모두에게 익숙지 않아 사소한 단계에서조차 쉽게 접근할 수 없는 어려움이 있었다”며 “PSM(프로세스 세이프티 매니지먼트) 인허가 때도 강도 높은 심사를 받았지만, 적극적으로 대응해 1년6개월 만에 최종 적합 판정을 받았다”고 말했다. 나병현 기자