BpForum
KoreaWho
BpForum
KoreaWho
기업과산업  전자·전기·정보통신

SK하이닉스 고효율·저전력 ‘스크러버’ 개발, 온실가스 처리 효율 99%

나병현 기자 naforce@businesspost.co.kr 2024-09-09 15:54:41
확대 축소
공유하기
페이스북 공유하기 트위터 공유하기 네이버 공유하기 카카오톡 공유하기 카카오스토리 공유하기 유튜브 공유하기 url 공유하기 인쇄하기

SK하이닉스 고효율·저전력 ‘스크러버’ 개발, 온실가스 처리 효율 99%
▲ SK하이닉스 신규 베이형 스크러버 개발 방향과 효과. < SK하이닉스 뉴스룸 >
[비즈니스포스트] SK하이닉스가 2050 넷제로 달성을 위해 고효율·저전력 ‘스크러버’를 개발했다.

SK하이닉스는 국내 사업장의 식각 공정에 쓰이는 스크러버의 온실가스 처리 효율을 99%까지 끌어올릴 수 있는 신기술을 개발했다고 9일 밝혔다.

스크러버는 반도체 생산 과정에서 발생하는 부산물을 제거하는 장비다. 다양한 화학 물질이 쓰이는 반도체 공정에서 유해 물질을 정제하고 안전하게 처리할 수 있다.

처리 효율 99%'라는 수치는 온실가스 배출량이 계측기가 측정할 수 있는 최소량 이하로 검출됐다는 의미로, 사실상 배출이 거의 없다는 뜻이다.

이번 성과는 기존 스크러버의 효율을 개선하고 신규 베이(여러 개의 챔버가 모여 있는 하나의 공정 단위)형 스크러버를 개발하는 두 가지 방법으로 이뤄졌다.

식각 공정에서 기존의 챔버 단위로 설치된 스크러버는 필요 장비 대수가 많아 전력 사용량이 크고, 온실가스 처리 과정에서 대기오염물질로 지정된 질소산화물(NOx)이 발생하는 문제가 있었다.

새로 개발한 베이형 스크러버는 챔버보다 큰 베이 단위에서 온실가스를 처리해 필요 장비 대수를 줄여 전력 사용량은 물론, 관리·운영비까지 감소하는 효과가 있다.

또 촉매를 사용해 온실가스 분해 온도를 낮춰 추가적으로 전력을 절감하고, 상대적으로 낮은 온도로 작동해 질소산화물의 생성도 억제할 수 있다는 장점이 있다.

베이형 스크러버는 SK하이닉스에서 처음으로 시도하는 장비다.

프로젝트를 담당한 이성수 SK하이닉스 TL은 “새로운 장비라 모두에게 익숙지 않아 사소한 단계에서조차 쉽게 접근할 수 없는 어려움이 있었다”며 “PSM(프로세스 세이프티 매니지먼트) 인허가 때도 강도 높은 심사를 받았지만, 적극적으로 대응해 1년6개월 만에 최종 적합 판정을 받았다”고 말했다. 나병현 기자

인기기사

구글, 10월15일부터 '유튜브 쇼츠' 최대 길이 3분으로 연장 이동현 기자
하이브 '국감'과 '소송'으로 고달픈 10월, 방시혁 기업 이미지 쇄신 무대책 장은파 기자
하이브, 한글날 맞아 국립박물관문화재단과 BTS 협업 상품 '달마중' 출시 장은파 기자
삼성전자 엑시노스2500, 내년 갤럭시S25FE와 갤럭시Z폴드7 탑재 가능성 김호현 기자
이수만 떠난 SM엔터테인먼트 새바람, 탁영준 하이브식 운영으로 안착한다 김민정 기자
민주당 조국혁신당, 부산 금정구청장 보궐선거 단일화 합의 조충희 기자
엔씨소프트 반등 열쇠 '저니오브모나크' 굿 스타트, 방치형게임 쏟아져 흥행은 '글쎄' 이동현 기자
석유공사 '연임' 김동섭 국감으로, 대왕고래 프로젝트 힘겨운 방어전 예상 이상호 기자
영화 ‘베테랑2’ 700만 관객 눈앞, OTT ‘흑백요리사’ 처음으로 1위 올라 윤인선 기자
테슬라 ‘로보택시’에 자체 배터리 활용 전망, LG엔솔 파나소닉 수혜 불확실 이근호 기자
koreawho

댓글 (0)

  • - 200자까지 쓰실 수 있습니다. (현재 0 byte / 최대 400byte)
  • - 저작권 등 다른 사람의 권리를 침해하거나 명예를 훼손하는 댓글은 관련 법률에 의해 제재를 받을 수 있습니다.
  • - 타인에게 불쾌감을 주는 욕설 등 비하하는 단어가 내용에 포함되거나 인신공격성 글은 관리자의 판단에 의해 삭제 합니다.