| ▲ 이부섭 동진쎄미켐 회장이 2017년 10월20일 서울 신라호텔에서 열린 창립 50주년 기념식에서 기념사를 하고 있다. <동진쎄미켐> |
△동진쎄미켐의 지배구조
이부섭은 2023년 말 기준 동진쎄미켐의 주식을 보유하고 있지 않다.
그 대신 동진쎄미켐의 최대주주(지분율 32.49%)인 동진홀딩스의 지분 55.72%를 들고 있다.
동진쎄미켐은 동진홀딩스 등 최대주주 및 특수관계인 6인이 38.62%의 지분을 갖고 있다. 최대주주인 동진홀딩스에 이어 동진장학연구재단 3.66%, 이부섭의 둘째 아들인 이준혁 부회장의 개인회사로 분류되는 명부산업이 1.23%, 이부섭의 큰아들인 이준규 부회장이 0.43%, 이준규 부회장의 부인 옥연수씨가 0.41%, 이준혁 부회장의 부인인 안상희씨가 0.40%를 각각 들고 있다.
동진홀딩스는 동진쎄미켐의 지주회사로 이부섭과 부인 장명옥씨, 이준규·이준혁 부회장 등 일가가 지분을 나눠 갖고 있다.
삼성전자가 2017년 동진쎄미켐에 직접 투자해 지분 4.80%를 보유하고 있는 점도 눈에 띈다.
동진쎄미켐의 이사회는 사내이사 3명, 사외이사 1명 등 4명의 이사로 구성돼 있다. 사내이사는 이부섭과 이준규·이준혁 부자가 맡고 있다. 사외이사는 이승종 서울대학교 화학생물공학부 명예교수가 2024년 3월22일 열린 정기주주총회에서 선임됐다.
동진쎄미켐은 1명의 상근감사를 두고 있다. 상근감사는 조명재 LG미소금융재단 이사장이 맡고 있다.
2023년 말 현재 동진쎄미켐의 연결대상 종속회사는 20개(국내 1, 해외 19)다.
동진쎄미켐과 종속회사들은 반도체와 디스플레이용 전자재료, 연료전지·2차전지용 전자재료, 발포제 등을 제조해 판매한다. 발포제는 플라스틱과 (합성)고무에 기공을 만들어 단열, 완충, 방음 등의 성질을 추가해주는 첨가제를 말한다.
2023년 실적 기준으로 매출 비중은 전자재료 91.08%, 발포제 8.87%, 기타(자회사 신암정유가 만드는 정제유) 0.06% 등이다.
해외 종속회사 중 싱가포르법인인 동진아시아홀딩스와 홍콩법인인 동진글로벌홀딩스는 각각 말레이시아 법인과 7개 중국법인을 거느리는 중간지주사 역할을 하고 있다.
동진쎄미켐 그룹의 계열사는 동진쎄미켐을 비롯해 23개(국내 4, 해외 19)다. 이 중 상장회사는 동진쎄미켐뿐이다.
△2023년 매출 감소로 실적 악화
동진쎄미켐은 2023년 연결기준 매출 1조3099억 원, 영업이익 1762억 원, 당기순이익 1235억 원의 실적을 기록했다.
2022년 매출 1조4572억 원, 영업이익 2163억 원, 당기순이익 1562억 원을 거둔 것과 비교해 매출은 10.11%, 영업이익은 18.55%, 순이익은 20.91% 각각 줄어들었다.
전자재료와 발포제 부문 매출이 모두 감소해 실적이 나빠졌다. 특히 반도체 업황 부진의 여파가 영향을 미쳤다.
△미국 텍사스주 반도체혁신위원회 참여
동진쎄미켐이 2024년 3월21일 미국 텍사스주가 조직한 ‘텍사스 반도체 혁신 컨소시엄 집행위원회’(TSIC EC)'에 참여한다고 밝혔다.
TSIC EC는 텍사스주지사 산하 위원회로, 텍사스 현지 반도체 기업을 지원하기 위해 꾸려졌다. 텍사스 반도체지원법에 따라 반도체 보조금 등을 기획·집행하는 역할을 맡는다. 한국에서는 동진쎄미켐과 삼성전자가 참여한다.
앞서 그렉 애보트 미국 텍사스주지사는 2024년 3월19일 TSIC EC 위원 7명을 임명했다. 이종호 동진쎄미켐 기업 전략 이사와 제프 M. 스미스 삼성전자 오스틴 법인 인프라 기술담당 부사장이 위원으로 선임됐다. 텍사스인스트루먼트(TI), 도쿄일렉트론(TEL), 델테크놀로지 등도 위원회에 참여한다. 반도체 기업이 아닌 소재 회사는 동진쎄미켐이 유일하다.
동진쎄미켐 쪽은 TSIC EC 활동 개시와 함께 텍사스주에 진출한 우리 기업들이 본격적으로 수혜를 볼 것으로 기대하고 있다. 텍사스주는 보조금으로 6억9800만 달러(약 9445억 원)를 집행할 것으로 예상된다. 주로 현지 반도체 및 소재·부품·장비 생산과 연구개발(R&D)을 지원하기 위한 것이다. 미국 연방정부의 반도체 보조금과는 별도로 집행된다.
동진쎄미켐은 텍사스주 킬린시에 반도체 웨이퍼 식각·세정 용도로 쓰이는 황산과 시너 공장을 건설하고 있다. 두 공장 건설에 각각 1억 달러를 투자한다. 2024년 상반기 중 완공을 목표로 한다.
이 공장은 삼성전자가 텍사스주 테일러시에 건설하고 있는 파운드리 공장에 제품을 공급하기 위해 세워진다. 또 오스틴과 테일러에 구축된 삼성전자 파운드리뿐 아니라 미국 현지 잠재 고객에게도 소재를 공급하는 생산 거점이 될 것으로 보인다.
이와 관련 동진쎄미켐은 2022년 9월에 이 공장 설립을 위해 미국 현지법인(DONGJIN USA INC.)에 682억 원을 유상증자한 바 있다.
△‘2나노 초미세공정 장비용’ 하이 NA EUV 포토레지스트 개발 착수
동진쎄미켐이 2023년 6월 ‘하이 뉴메리컬어퍼처(NA) 극자외선용 포토레지스트(하이 NA EUV PR)’ 개발 로드맵을 수립하고 개발에 착수했다. 2025년 상반기 완료를 목표로 한다.
‘하이 NA EUV’는 기존 EUV 노광장비보다 빛 집광능력을 나타내는 렌즈 개구수(NA)를 끌어올려 해상력을 높인 차세대 반도체 노광장비다. 2나노미터 이하 초미세공정에 필수적이다.
포토레지스트는 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그리는 노광 공정의 핵심 소재다. 웨이퍼에 포토레지스트를 도포한 후 노광 작업을 거치면 성질이 변하면서 회로 패턴의 밑바탕이 된다. 특히 EUV용 포토레지스트는 고해상도 패턴을 그릴 때 사용된다.
하이 NA EUV 장비는 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 2023년 12월 인텔에 처음으로 출하했다. 삼성전자와 SK하이닉스도 이 장비를 주문해 놓은 상태다. 대량 양산은 2026년경부터 이뤄질 것으로 알려졌다.
동진쎄미켐은 하이 NA EUV 시장이 본격 개화하기 전에 관련 포토레지스트 제품 상용화를 완료해 시장을 선점하려 한다.
앞서 동진쎄미켐은 지난 2022년 EUV 포토레지스트 국산화에 처음으로 성공했다. 그전에는 전량 일본 등 해외에서 수입해야 했다.
△‘반도체 기후변화 대응 컨소시엄’ 창립멤버로 참여
동진쎄미켐이 국제반도체장비재료협회(SEMI)의 ‘반도체 기후변화 대응 컨소시엄(SCC)’에 창립멤버로 참가한다.
SCC는 SEMI의 지속가능성 자문위원회(SAC)가 참여해 만든 협의체로 2022년 11월 출범했다. 반도체 생산 기업부터 소재·부품·장비, 정보통신기술(ICT) 업체 등 반도체 산업 전반에 관련된 업체들이 가입 대상이다. 회원 간 연대와 공개적인 탄소저감 보고 등을 추구한다.
창립멤버는 동진쎄미켐과 삼성전자, SK하이닉스, 구글, AMD, ASML 등 65개다.
동진쎄미켐은 SCC 창립멤버 가입에 따라 글로벌 반도체 시장에서 전개될 탄소저감 정책과 관련 기술 발전에 기민하게 대응할 수 있게 됐다. 또 내부적으로 지속가능경영의 체계화와 투명성 개선도 기대된다.
△스웨덴 현지공장 완공
동진쎄미켐이 2022년 11월 스웨덴 공장 건물을 완공하고 사용 승인을 취득했다.
동진쎄미켐은 2020년 5월 스웨덴 현지법인(DONGJIN SWEDEN AB)을 세우고 스웨덴 북부 셸레프테오(Skellefteå)에 3만6천㎡ 부지를 확보해 6천㎡ 규모의 이차전지 배터리용 슬러리 복합소재 생산공장 설립을 추진해 왔다. 2021년 4월 공사에 들어가 2022년 4분기에 슬러리의 샘플을 고객사에 공급하기 시작했다.
슬러리는 배터리에 들어가는 핵심 소재로, 활물질, 바인더 등을 섞은 혼합물을 말한다. 양극재, 음극재 등 배터리 소재 성능을 올려주는 기능을 한다.
동진쎄미켐은 2020년 스웨덴 배터리 업체인 노스볼트사와 10년짜리 장기 공급계약을 맺으면서 스웨덴 현지법인을 설립하고 공장 건설을 추진해 왔다.
노스볼트는 2016년 문을 연 전기차 배터리 생산업체로, 폭스바겐이 투자한 것으로 알려졌다. 2030년 유럽 최대 배터리 공급업체를 목표로 공격적인 확장을 이어가고 있다.
업계에서는 노스볼트가 폭스바겐이라는 든든한 공급처가 있어 수주량이 지속적으로 확대될 것으로 예상되는 만큼 동진쎄미켐도 수혜를 입을 것으로 내다보고 있다.
△EUV 포토레지스트 상용화, 소부장 국산화 완료
동진쎄미켐이 반도체 초미세공정에 쓰이는 극자외선(EUV) 포토레지스트 개발과 양산화를 국내 최초로 이뤄냈다.
동진쎄미켐은 2021년 12월 반도체 초미세공정의 필수소재인 EUV 포토레지스트 개발에 성공했다.
동진쎄미켐은 이번 EUV 포토레지스트 개발로 2019년 6월 일본의 수출규제 조치 대상이던 3개 반도체·디스플레이 소재의 국산화가 마침표를 찍게 됐다고 평가했다.
동진쎄미켐은 화성공장에서 개발한 EUV 포토레지스트로 삼성전자 화성 EUV 라인에서 시험(퀄)을 통과한 것으로 전해졌다.
포토레지스트는 반도체의 미세한 회로를 그리기 위해 웨이퍼 위에 분사하는 감광액이다. 사용하는 노광장비 광원 파장에 따라 불화크립톤(KrF·248㎚), 불화아르곤(ArF·193㎚), 극자외선(EUV·13.5㎚)용으로 구분된다. 파장이 짧을수록 미세공정에 유리하다.
당시 국내에서는 KrF, ArF 포토레지스트는 이미 양산하고 있었다. 하지만 일본 기업들이 세계 시장 90% 이상을 점유하는 EUV용 포토레지스트는 국산화를 이루지 못하고 있었다. KrF 포토레지스트는 동진쎄미켐이 세계 1위다.
동진쎄미켐은 2019년 일본의 수출 규제 이후 포토레지스트 완전 국산화에 본격 착수했다. 특히 기존 KrF 노광기 등 자체 설비와 벨기에 반도체 연구소인 아이멕(IMEC) EUV 장비 등을 활용해 EUV 포토레지스트를 적극 개발해 왔다. 삼성전자도 EUV 테스트 환경을 적극 지원했다.
삼성전자는 2022년 하반기에 동진쎄미켐의 EUV 포토레지스트를 메모리 생산 라인에 도입했다. 동진쎄미켐의 EUV 포토레지스트의 품질이 공식적으로 인정받았다는 의미다.
동진쎄미켐은 2024년 들어 메모리 라인 외에 파운드리용 EUV 포토레지스트 테스트도 고객사와 진행 중인 것으로 알려졌다. 또한 SK하이닉스에도 EUV 포토레지스트 공급을 시작했다.
△미국 회사 제기한 '텅스텐용 CMP 슬러리' 특허소송 승소
동진쎄미켐이 미국 회사가 제기한 텅스텐용 CMP(Chemical Mechanical Polishing, 평탄화) 슬러리 특허소송에서 승소했다.
한국 특허법원은 2018년 7월20일 동진쎄미켐을 상대로 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스 코퍼레이션이 제기한 특허권침해금지 등 청구의 소에 대한 항소와 특허무효 심결 취소의 소를 병합 심리해 동진쎄미켐이 승소했다고 판결했다.
이번 판결로 캐보트는 동진쎄미켐이 국내에서 텅스텐용 CMP 슬러리 제품을 생산·판매하는 것을 막을 수 없게 됐다. 판결에 상고하더라도 특허 존속기간(20년)이 2018년 7월 말로 만료되기 때문이다.
앞서 동진쎄미켐은 2017년 9월 캐보트가 텅스텐용 슬러리 관련 특허 1건을 기초로 제기한 특허침해금지소송에서 승소했다. 그에 앞서서는 이 소송의 기초가 된 특허에 대해 등록무효심판을 청구해 2017년 1월 승소한 바 있다.
2018년 7월 특허법원 판결은 2017년에 나온 판결과 심결의 항소심을 병합 심리한 결과다.
동진쎄미켐은 캐보트가 텅스텐 CMP 슬러리와 관련해 대만에서 제기한 특허권침해금지 소송에서도 2018년 6월 승소했다.
CMP 슬러리는 반도체 공정 중 웨이퍼를 평탄화하는 CMP 공정에서 활용되는 액체다. 텅스텐 CMP 슬러리는 텅스텐을 갈아낼 때 쓰는 슬러리다. 텅스텐은 내열성과 전기저항성이 좋아 미세화된 반도체 소자의 배선에 자주 사용된다.
종전까지 세계 텅스텐 CMP 슬러리 시장은 캐보트가 독점 공급해 왔다. 하지만 동진쎄미캠이 자체 생산기술을 확보하자 캐보트는 동진쎄미캠을 상대로 소송을 제기했다.
△지주사 체제로 전환
이부섭 일가가 자회사인 제이앤드제이케미칼(현 동진홀딩스)에 지분을 넘기고 지주회사 체제로 전환했다.
동진쎄미켐은 2013년 12월11일 "최대주주가 이부섭 외 10인에서 제이앤드제이케미칼 외 1인으로 변경됐다"고 공시했다.
제이앤드제이케미칼은 1989년 동진전기화학이라는 이름으로 설립됐다. 2001년 상호를 제이앤드제이케미칼로 변경했고, 지주회사 전환 후인 2014년 다시 이름을 동진홀딩스로 고쳤다.
동진쎄미켐은 지주사 설립을 위해 이부섭 및 특수관계인 10명이 보유하고 있던 동진쎄미켐 주식 1044만2710주를 제이앤드제이케미칼에 현물출자하는 계약을 체결했다.
이로써 제이앤드제이케미칼은 동진쎄미켐 지분 29.24%를 확보하고 최대주주로 올라섰다. 2023년 말 현재 동진홀딩스는 32.49%를 들고 있다.
2023년 말 현재 동진홀딩스의 최대주주는 55.72%의 지분을 들고 있는 이부섭이다. 이어 둘째 아들인 이준혁 부회장 17.77%, 이준혁 부회장의 개인회사로 분류되는 미세테크와 명부산업이 각각 11.59%와 7.02%, 이부섭의 장남인 이준규 부회장 3.22%, 이부섭의 부인인 장명옥씨 1.30%, 이준혁 부회장의 부인인 안상희씨 0.26% 순이다.
△동진쎄미켐이 걸어온 길
1967년 10월 이부섭이 동진화학공업사를 설립했다.
1973년 동진화성공업주식회사로 법인 전환했다.
1976년 인천 발포제공장을 준공했다.
1988년 부평 포토레지스트 공장을 준공했고, 이듬해인 1989년 부평공장에 부설 제2기술연구소를 세웠다.
1990년 인도네시아 현지법인(PT.DONGJIN INDONESIA)를 설립했다.
1992년 인도네시아 현지법인 발포제공장을 준공했다. 시화 발포제공장을 완공했다.
1995년 발안 포토레지스트 공장을 준공했다.
1999년 코스닥에 상장했다.
2004년 중국 현지법인(북경동진쎄미켐과기유한공사)을 세웠다.
2005년 신암정유와 실로켐을 계열회사로 추가했다.
2008년 동진디스플레이재료를 세웠다. 발안 종합연구소를 설립했다.
2014년 미국 현지법인(DONGJIN USA INC.)을 설립했다. 동진디스플레이재료를 합병했다.
2016년 동진글로벌홀딩스를 설립했다.
2022년 미국 현지법인(DSM Semichem LLC, Dongjin Semichem Texas, INC.)를 세웠다.