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삼성전자 SK하이닉스, 미국 극자외선 공정의 소재 스타트업에 투자
김디모데 기자  Timothy@businesspost.co.kr  |  2020-02-21 11:44:01
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삼성전자와 SK하이닉스가 극자외선(EUV) 공정의 소재 스타트업에 투자했다.

미국 스타트업 인프리아는 20일 홈페이지를 통해 3100만 달러 규모의 시리즈C 투자를 유치했다고 밝혔다.
 
▲ 인프리아 로고.

이번 투자에는 기존 투자자인 삼성벤처투자와 인텔캐피탈을 포함해 SK하이닉스, TSMC 등이 신규 투자자로 참여했다. 투자자들의 정확한 투자규모는 알려지지 않았다.

삼성전자의 투자자회사인 삼성벤처투자는 2014년과 2017년 두 차례 인프리아에 투자한 적이 있어 이번이 세 번째 투자다. 

SK하이닉스의 경우 시리즈 투자는 처음이지만 2019년 8월 인프리아가 발행한 전환사채에 12억 원을 투자한 적이 있어 사실상 두 번째 투자다.

인프리아는 2007년 미국 오리건주립대 화학연구소에서 설립한 회사로 극자외선용 감광재(포토레지스트)를 개발하는 회사다. 

포토레지스트는 2019년 일본이 수출규제 대상으로 삼았던 반도체 핵심소재다. 반도체 웨이퍼에 회로를 인쇄할 때 쓰이는데 일본 기업이 시장을 장악하고 있다. 

인프리아의 포토레지스트는 금속산화물을 이용해 기존 일본 기업이 생산하는 유기물 포토레지스트보다 빛을 받아들이는 흡수율이 4배 이상 크다. 5나노 이하 미세공정에서 인프리아 방식이 더 유리한 것으로 여겨진다.

앤드류 그렌빌 인프리아 최고경영자(CEO)는 “이번 투자는 인프리아가 반도체산업에서 전략적으로 중요한 위치에 있다는 증거”라며 “극자외선 공정을 적용하고 있는 세계 모든 반도체 제조사가 우리 투자자로 참여하게 돼 기쁘다”고 말했다. [비즈니스포스트 김디모데 기자]
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