삼성전자와 SK하이닉스가 극자외선(EUV) 공정의 소재 스타트업에 투자했다.

미국 스타트업 인프리아는 20일 홈페이지를 통해 3100만 달러 규모의 시리즈C 투자를 유치했다고 밝혔다.
 

이번 투자에는 기존 투자자인 삼성벤처투자와 인텔캐피탈을 포함해 SK하이닉스, TSMC 등이 신규 투자자로 참여했다. 투자자들의 정확한 투자규모는 알려지지 않았다.

삼성전자의 투자자회사인 삼성벤처투자는 2014년과 2017년 두 차례 인프리아에 투자한 적이 있어 이번이 세 번째 투자다. 

SK하이닉스의 경우 시리즈 투자는 처음이지만 2019년 8월 인프리아가 발행한 전환사채에 12억 원을 투자한 적이 있어 사실상 두 번째 투자다.

인프리아는 2007년 미국 오리건주립대 화학연구소에서 설립한 회사로 극자외선용 감광재(포토레지스트)를 개발하는 회사다. 

포토레지스트는 2019년 일본이 수출규제 대상으로 삼았던 반도체 핵심소재다. 반도체 웨이퍼에 회로를 인쇄할 때 쓰이는데 일본 기업이 시장을 장악하고 있다. 

인프리아의 포토레지스트는 금속산화물을 이용해 기존 일본 기업이 생산하는 유기물 포토레지스트보다 빛을 받아들이는 흡수율이 4배 이상 크다. 5나노 이하 미세공정에서 인프리아 방식이 더 유리한 것으로 여겨진다.

앤드류 그렌빌 인프리아 최고경영자(CEO)는 “이번 투자는 인프리아가 반도체산업에서 전략적으로 중요한 위치에 있다는 증거”라며 “극자외선 공정을 적용하고 있는 세계 모든 반도체 제조사가 우리 투자자로 참여하게 돼 기쁘다”고 말했다. [비즈니스포스트 김디모데 기자]